Вакуумное оборудование

Вакуумная арматура представляет собой разновидность арматуры, предназначенная для работы при абсолютных давлениях менее 0,1 Мпа. К вакуумной арматуре относятся регулирующие и запорные вентили, вводы, затворы, смотровые окна, натекатели. Также к этому типу арматуры относятся механические вакууметры. Привод арматуры может быть ручным, электромагнитным и электропневматическим.

Главное требование к устройствам — высокая герметичность деталей и их соединений. В качестве уплотнителей для данного вида арматуры в зависимости от назначения системы (низкий, высокий или сверхвысокий вакуум) применяют вакуумную резину, сальниковые устройства, сильфоны, термостойкую резину и пластичные металлы

Гелиевые течеискатели — вакуумные приборы, предназначенные для обнаружения, локализации и оценки течи. Гелиевые масспектрометрические течеискатели работают при наличии вакуума в детекторе. Устройство гелиевых течеискателей — детектор тестового газа, форвакуумные (низкий вакуум) насосы небольшой производительности, насосы глубокого вакуума, система арматуры и трубопроводов, предназначенная для защиты гелиевых течеискателей от прорыва давления внутрь детектора (масспектрометра).

Система управления также включает емкостные датчики давления. Гелиевые течеискатели применяются в пищевой, фармацевтической, нефтяной, авиационной, космической промышленности, в приборостроении.

Откачные посты — готовые вакуумные системы, которые состоят из гибридного молекулярного, форвакуумного насоса и управляющего контроллера. Оборудование откачных постов размещается на одном основании. При необходимости возможна индивидуальная конфигурация систем в соответствии с нуждами заказчика. В качестве форвакуумного насоса для откачных постов выбирается спиральный, пластинчато-роторный или диафрагменный (мембранный) насос.

Управление отдельными элементами откачных постов (насосами, клапанами, датчиками, системами охлаждения, контроля параметров) и всей системы в целом осуществляется посредством контроллера. Отдельные модели предусматривают удаленное управление откачными постами.

Форвакуумные насосы представляют собой оборудование, предназначенное для предварительного разрежения — создания Форвакуума. Используются с целью энергосбережения, создания условий, необходимых для работы насосов высокого вакуума, т. е. для поддержания требуемого выпускного давления в вакуумныех насосах большей производительности. К форвакуумным насосам относятся пластинчато-статорные, водокольцевые, плунжерные и некоторые другие виды насосов.

Подразделяются на сухие и масляные насосы. В случае использования масляных форвакуумных насосов с целью предотвращения возникновения обратного потока масла и, соответственно, загрязнения парами масел, применяют специальные форвакуумные ловушки.